Trang thiết bị:
- Tường, trần, sàn: Được làm bằng panel cao cấp chống tĩnh điện.
- Hệ thống lọc bụi: Gồm 3 cấp lọc: Lọc sơ cấp (lọc thô), Lọc thứ cấp (Lọc vừa), Lọc HEPA (Lọc tinh).
- Lọc sơ cấp (Lọc thô): Lọc được 95% đến 99% các hạt bụi thông thường >= 20 micron.
- Lọc thức cấp (Lọc vừa): Lọc được 50% đến 95% hạt bụi cực nhỏ >= 0,5 micron.
- Lọc HEPA (Lọc tinh): Lọc đến 99,9% hạt bụi siêu nhỏ khoảng 0,3 micron.
- Phòng ngăn khí: là phòng đặt giữa phòng sạch và khu vực bên ngoài và nó có tác dụng là phòng đệm hay phòng trung chuyển khi vận chuyển vật liệu vào hay ra khỏi khu vực phòng sạch.
- Phòng tắm khí: là phòng nhỏ trong đó có bố trí các vòi phun khí nén để làm sạch nhân viên trước khi đi vào khu vực phòng sạch.
- Dụng cụ trong phòng sạch: Bàn, ghế, kệ, khay, màn che…. đều được sử dụng loại chống tĩnh điện
Các tiêu chuẩn trong phòng:
- Nhiệt độ: luôn nằm trong khoảng 200C đến 260C
- Độ ẩm: Từ 15% đến không quá 55%
- Áp suất trong phòng: Từ 15Pa đến 45Pa
- Độ ồn: Không vượt ngưỡng 40dB – 65dB
- Độ bụi: Tùy theo yêu cầu của từng loại phòng, sẽ áp dụng mức lọc bụi theo tiêu chuẩn khác nhau như HEPA hoặc ULPA
